芯東西（公眾號(hào)：aichip001）
作者 |? 程茜
編輯 | ?Panken
芯東西12月25日消息，今日下午，中國(guó)政務(wù)采購(gòu)網(wǎng)發(fā)布單一來(lái)源采購(gòu)步進(jìn)掃描式光刻機(jī)項(xiàng)目成交公告，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司作為單一來(lái)源中標(biāo)，中標(biāo)金額約為1.10億元，采購(gòu)方為科學(xué)技術(shù)部。
該項(xiàng)目的貨物是1臺(tái)步進(jìn)掃描式光刻機(jī)，貨物型號(hào)為SSC800/10。
11月7日，中國(guó)政府購(gòu)買服務(wù)信息平臺(tái)發(fā)布《科學(xué)技術(shù)部zycgr22011903單一來(lái)源采購(gòu)步進(jìn)掃描式光刻機(jī)征求意見公示》。
該項(xiàng)目采用單一來(lái)源方式采購(gòu)，預(yù)算金額為1.13億元。
在單一來(lái)源采購(gòu)專家論證意見表中提到，步進(jìn)掃描式光刻機(jī)具備高分辨率光學(xué)成像能力（分辨率≤110nm）和優(yōu)異的套刻精度（≤15nm），可支持微米乃至亞微米級(jí)結(jié)構(gòu)的高均勻性、高穩(wěn)定性加工。
目前上海微電子是國(guó)內(nèi)目前唯一具備先進(jìn)前道光刻機(jī)研發(fā)與制造能力的企業(yè)，其最新機(jī)型已可實(shí)現(xiàn)分辨率≤110nm、套刻精度≤15nm的性能指標(biāo)。
意見表還提到，步進(jìn)掃描式光刻機(jī)是實(shí)現(xiàn)萬(wàn)通道級(jí)神經(jīng)電級(jí)制造不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一。
11月至今，國(guó)內(nèi)多所高校及科研機(jī)構(gòu)發(fā)布了光刻機(jī)相關(guān)招標(biāo)、中標(biāo)公告。
11月28日，杭州玉之泉精密儀器有限公司中標(biāo)中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所雙光子三維激光直寫光刻機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目，中標(biāo)金額為120萬(wàn)元；11月5日，南京大學(xué)發(fā)布無(wú)掩膜激光直寫光刻機(jī)公開招標(biāo)公告，預(yù)算金額為180萬(wàn)元；12月23日，未知采購(gòu)人發(fā)布電子束光刻機(jī)設(shè)備采購(gòu)合同，預(yù)算金額為2100萬(wàn)元。
