芯東西（公眾號(hào)：aichip001）
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芯東西1月14日?qǐng)?bào)道，剛剛，無錫星微科技有限公司（簡稱“XIVI”）宣布，半年內(nèi)連續(xù)完成B輪及B+輪累計(jì)超億元融資。
其B輪投資方包括上汽集團(tuán)旗下尚頎資本和老股東毅達(dá)資本；B+輪投資方包括兩支江蘇省戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)母基金：無錫集成電路產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)母基金、南通新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)母基金，以及江蘇有線旗下睿輝資本。
這也是無錫、南通兩支戰(zhàn)新母基金的首個(gè)直投項(xiàng)目。
星微科技XIVI成立于2015年，有高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、晶圓傳輸設(shè)備兩大主營產(chǎn)品，是業(yè)內(nèi)少數(shù)能夠同時(shí)提供半導(dǎo)體精密運(yùn)動(dòng)控制與晶圓自動(dòng)化傳輸設(shè)備關(guān)鍵零部件的公司之一，也是極少數(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)底層核心零部件自研的廠商。
無錫科創(chuàng)集團(tuán)投資團(tuán)隊(duì)評(píng)價(jià)星微科技XIVI是“半導(dǎo)體運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域的新星”，“滿足國內(nèi)設(shè)備國產(chǎn)化的零部件需求”。南通科創(chuàng)集團(tuán)投資團(tuán)隊(duì)也強(qiáng)調(diào)星微科技的高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與晶圓傳輸系統(tǒng)“自主化程度屬行業(yè)頭部”。
其累計(jì)投資方包括耀途資本、毅達(dá)資本、中匯金、北洋海棠基金、建發(fā)新興投資等知名機(jī)構(gòu)。此前該公司曾在2023年7月獲得近億元A輪融資。
▲晶圓傳輸系統(tǒng)
星微科技XIVI致力于成為“晶圓超精密定位、傳輸、存儲(chǔ)一體化解決方案制造商”，掌握了多學(xué)科交叉的微米與納米級(jí)精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)、精密制造與生產(chǎn)管理能力，通過提供模塊化和定制化的產(chǎn)品及服務(wù)，能夠靈活適應(yīng)不同客戶場景的個(gè)性化需求，同時(shí)確保高效和穩(wěn)定的系統(tǒng)性能。
該公司2017年開始晶圓傳輸系統(tǒng)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)研發(fā)，2019年研發(fā)生產(chǎn)晶圓傳輸系統(tǒng)核心產(chǎn)品晶圓傳輸機(jī)械臂，2020年起其精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)及傳輸系統(tǒng)在半導(dǎo)體量檢測類、泛半導(dǎo)體精密制造等設(shè)備實(shí)現(xiàn)批量出貨。
當(dāng)前星微已形成半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件產(chǎn)品矩陣：高精度運(yùn)動(dòng)臺(tái)、晶圓傳輸設(shè)備、晶圓真空機(jī)械手等。其高自主化的運(yùn)動(dòng)臺(tái)和晶圓傳輸系統(tǒng)（EFEM、SORTER、晶圓機(jī)械手等）已批量供應(yīng)國內(nèi)頭部的量檢測設(shè)備與工藝設(shè)備廠商，并獲得客戶認(rèn)可。
2024年11月，星微XIVI發(fā)布真空機(jī)械手新品。作為晶圓的真空傳輸系統(tǒng)中的基板搬運(yùn)機(jī)器人，XIVI真空機(jī)械手的全連桿手臂機(jī)構(gòu)采用全閉環(huán)控制方式，可實(shí)現(xiàn)更高的定位精度、更快的響應(yīng)時(shí)間、更高的工作效率。首臺(tái)晶圓真空機(jī)械手即將交付至國內(nèi)頭部客戶。
▲晶圓真空搬運(yùn)機(jī)械手
官網(wǎng)顯示，星微科技XIVI擁有逾110項(xiàng)相關(guān)專利，自研運(yùn)動(dòng)平臺(tái)出貨總量2000+、自研晶圓設(shè)備出貨總量300+。
尚頎資本投資團(tuán)隊(duì)認(rèn)為，隨著半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)替代對(duì)高精度運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)需求激增，半導(dǎo)體設(shè)備子系統(tǒng)與零部件的國產(chǎn)化率進(jìn)入加速提升階段，星微科技作為該領(lǐng)域頭部公司具備極強(qiáng)的發(fā)展?jié)摿Α?/p>
在毅達(dá)資本先進(jìn)制造投資事業(yè)部徐杰博士看來，星微科技擁有底層設(shè)計(jì)和制造能力，其生產(chǎn)工藝涉及精密機(jī)械制造、工程材料、工程設(shè)計(jì)等多個(gè)領(lǐng)域，能夠與頭部半導(dǎo)體設(shè)備客戶形成高效合作研發(fā)和快速迭代。
當(dāng)前，半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)替代步伐加快，驅(qū)動(dòng)上游的關(guān)鍵零部件替代加速。星微自研的真空傳輸系列產(chǎn)品，是半導(dǎo)體制造中極其重要的核心子系統(tǒng)零部件之一，為半導(dǎo)體行業(yè)提供了可替代化的自主精密運(yùn)動(dòng)控制解決方案。
星微科技XIVI計(jì)劃繼續(xù)加大在技術(shù)研發(fā)上的投入，推動(dòng)半導(dǎo)體精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品的創(chuàng)新升級(jí)，為半導(dǎo)體市場提供更多創(chuàng)新工業(yè)產(chǎn)品。
